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      6,光刻膠 futurrex哪里有,堅膜
      堅膜也叫后烘,是為了去除由于顯影液的浸泡引起膠膜軟化、溶脹現(xiàn)象,能使膠膜附著能力增強,康腐蝕能力提高。堅膜溫度通常情況高于前烘和*后烘烤的溫度 100-140度 10-30min,7,顯影檢驗,光刻膠鉆蝕、圖像尺寸變化、套刻對準(zhǔn)不良、光刻膠膜損傷、線條是否齊、陡,針kong、小島。
      8刻蝕
      就是將涂膠前所墊基的薄膜中沒有被光刻膠覆蓋和保護(hù)的那部分進(jìn)行腐蝕掉,達(dá)到將光刻膠上的圖形轉(zhuǎn)移到下層材料的目的。濕法刻蝕,光刻膠 futurrex,sio2,al,光刻膠 futurrex公司, poly-si 等薄膜,干法腐蝕。
      五、*
      在這一步中,將使用特定波長的光對覆蓋襯底的光刻膠進(jìn)行選擇性地照射。光刻膠中的感光劑會發(fā)生光化學(xué)反應(yīng),從而使正光刻膠被照射區(qū)域(感光區(qū)域)、負(fù)光刻膠未被照射的區(qū)域(非感光區(qū))化學(xué)成分發(fā)生變化。這些化學(xué)成分發(fā)生變化的區(qū)域,在下一步的能夠溶解于特定的顯影液中。
      在接受光照后,正性光刻膠中的感光劑dq會發(fā)生光化學(xué)反應(yīng),變?yōu)橐蚁┩⑦M(jìn)一步水解為茚并羧酸(indene-carboxylic-acid, ca),光刻膠 futurrex價格,羧酸在堿性溶劑中的溶解度比未感光部分的光刻膠高出約100倍,產(chǎn)生的羧酸同時還會促進(jìn)酚醛樹脂的溶解。利用感光與未感光光刻膠對堿性溶劑的不同溶解度,就可以進(jìn)行掩膜圖形的轉(zhuǎn)移。
      *方法:
      a、接觸式*(contact printing)掩膜板直接與光刻膠層接觸。
      b、接近式*(proximity printing)掩膜板與光刻膠層的略微分開,大約為10~50μm。
      c、投影式*(projection printing)。在掩膜板與光刻膠之間使用透鏡聚集光實現(xiàn)*。
      d、步進(jìn)式*(stepper)
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