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      小型濺射儀

      kt—z1650pvd是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓,電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節及電動擋板功能。通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率,可對大部分金屬進行均勻物理沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜。
      小型離子濺射儀 鄭州 科探kt-z1650pvd廠家供應技術參數;
      控制方式
      7寸人機界面 手動 自動模式切換控制
      濺射電源
      直流濺射電源
      鍍膜功能
      0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
      功率
      ≤1000w
      輸出電壓電流
      電壓≤1000v 電流≤1a
      真空
      機械泵 ≤5pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3pa
      濺射真空
      ≤30pa
      擋板類型
      電控
      真空腔室
      石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
      樣品臺
      可旋轉φ62 (可安裝φ50基底)
      樣品臺轉速
      8轉/分鐘
      樣品濺射源調節距離
      40-105mm
      真空測量
      皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10e5pa 1e-1pa)
      預留真空接口
      kf25抽氣口 kf16放氣口 6mm卡套進氣口

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